光刻胶

AZ MIR-701/AZ MIR-703 光刻胶

AZ MIR-700系列光刻胶高感光度I线正型光刻胶,符合ULSI和VLSI制造过程中高感光度高分辨率的要求。

AZ MIR-700系列光刻胶高感光度I线正型光刻胶,符合ULSI和VLSI制造过程中高感光度高分辨率的要求

AZ MIR-700系列光刻胶特征:

1) 高感光度带来了高产出率

2) 线条与通孔均可应用

3) 推荐与AZ的ARC和RELACS共同使用

参考工艺条件

前烘 :90℃ 60秒 (DHP)

曝光 :I线步进式曝光机

曝光后烘烤 :110℃ 60秒 (DHP)

显影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

清洗 :去离子水30秒

剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

产品型号

型号

AZ MIR-701

AZ MIR-703

粘性

14mPa

14mPa