AZ 6124 光刻胶
AZ6100系列广泛应用于大规模集成电路的高感光度高热稳定性G线正型光刻胶。
AZ6100系列广泛应用于大规模集成电路的高感光度高热稳定性G线正型光刻胶。
AZ6100系列广泛应用于大规模集成电路的高感光度高热稳定性G线正型光刻胶。
特征:
1) 通过提高光刻胶的热稳定性,从而改善了干法刻蚀的工艺窗口
2) 高感光度带来了高产出率
3) 很宽的膜厚范围
参考工艺条件:
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G线步进式曝光机/接触式曝光机
显影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去离子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化
产品型号:
型号 | AZ6112 | AZ6124 | AZ6130 |
粘性 | 13mPa | 43mPa | 69mPa |
匀胶厚度2.5- 5μm