URE-2000B型紫外光刻机
URE-2000B型国产紫外光刻机
主要技术特点：
该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。
主要技术指标：
★ 曝光面积：110mm×110mm；
★ 分辨力： 0.8～1µm（胶厚2µm正胶）；
★ 胶厚600µm（SU8胶，据用户工艺条件）；
★ 对准精度：±0.6µm；
★ 掩模尺寸：2.5inch、3inch、4inch、5inch；
★ 样片尺寸：直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm；
★ 照明均匀性：±3.5%(ф100mm)；
★ 汞灯功率：1000W（直流）；
★ 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s～999.9s）。
1．技术参数
l 曝光面积：100mmX100mm
l 曝光波长：365nm
l 分辨力：0.8um（胶厚2um的正胶）
l 对准精度：±0.6um
l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围）
l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜3对：4倍、10倍、20倍； 目镜3对：10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和曝光间隙
l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 最大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）
l 光源平行度：2º
l 曝光能量密度：>20mW/cm
l 汞灯功率：1000W（直流，进口）
2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2
（2）对准工件台
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构,自动完成
l 样片自动调焦机构
l 承片台4个（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
l 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
l 基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜及CCD对准系统
l 光源、电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
l CCD
l 21英寸液晶显示器
（4）电控系统
l 汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
l 单片机控制系统
l 控制柜桌
（5）气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪
（6）其他附件
l 真空泵一台（无油泵）
l 空压机一台（静音泵）
l 管道
（7）技术资料
l 使用维修说明书。
l 显微镜使用说明书