光刻机

URE-2000B型紫外光刻机

URE-2000B型国产紫外光刻机

主要技术特点: 
   该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。 
  
主要技术指标: 
★ 曝光面积:110mm×110mm; 
★ 分辨力:   0.8~1µm(胶厚2µm正胶); 
★ 胶厚600µm(SU8胶,据用户工艺条件); 
★ 对准精度:±0.6µm; 
★ 掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch; 
★ 样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm; 
★ 照明均匀性:±3.5%(ф100mm);   
★ 汞灯功率:1000W(直流); 
★ 曝光方式:定时(倒计时方式0.1s~999.9s)。

1.技术参数


曝光面积:100mmX100mm

曝光波长:365nm

分辨力:0.8um(胶厚2um的正胶)

对准精度:±0.6um

掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片)

厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

照明不均匀性: 2.5%f100mm 范围)

双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍

物镜3对:4倍、10倍、20倍;     目镜3对:10倍、16倍、20倍

调平接触压力通过传感器保证重复

数字设定对准间隙和曝光间隙

具备压印模块接口,也具备接近模块接口

掩模相对于样片运动行程:   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6

最大焦厚:600mmSU8胶,用户提供检测条件)

光源平行度:2º

曝光能量密度:>20mW/cm连续流微通道反应器生产厂家

汞灯功率:1000W(直流,进口

2.外形尺寸:1400mm(长)´1200mm(宽) ´1950mm(高)

3.配置


1)曝光头


冷光椭球镜

XYZ汞灯调节台

冷却风扇

1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(109个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2


2)对准工件台


掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构,自动完成

样片自动调焦机构

承片台4个(f15mm 2英寸、3英寸、4英寸)

掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

基片抽拉式上下机构


3)对准显微镜及CCD对准系统


光源、电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

CCD

21英寸液晶显示器

4)电控系统


汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

单片机控制系统

控制柜桌 

5)气动系统

气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪

6)其他附件

真空泵一台(无油泵)

空压机一台(静音泵)

管道

7)技术资料

使用维修说明书。

显微镜使用说明书