URE-2000B型紫外光刻机

主要技术特点：　
　  该机采用i线紫外曝光光源，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术，采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明，并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统（可同时使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚胶曝光功能，曝光设定采用微机控制，菜单界面友好，操作简便。 
　 
主要技术指标： 
★ 曝光面积：110mm×110mm； 
★ 分辨力：　  0.8～1µm（胶厚2µm正胶）； 
★ 胶厚600µm（SU8胶，据用户工艺条件）； 
★ 对准精度：±0.6µm； 
★ 掩模尺寸：2.5inch、3inch、4inch、5inch； 
★ 样片尺寸：直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm； 
★ 照明均匀性：±3.5%(ф100mm)；　　 
★ 汞灯功率：1000W（直流）； 
★ 曝光方式：定时（倒计时方式0.1s～999.9s）。

1．技术参数

l 曝光面积：100mmX100mm

l 曝光波长：365nm

l 分辨力：0.8um（胶厚2um的正胶）

l 对准精度：±0.6um

l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l 样片尺寸：直径f15mm-- f100mm（各种不规则片）

厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l 照明不均匀性： 2.5%（f100mm 范围）

l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜3对：4倍、10倍、20倍；     目镜3对：10倍、16倍、20倍

l 调平接触压力通过传感器保证重复

l 数字设定对准间隙和曝光间隙

l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l 掩模相对于样片运动行程：   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 最大焦厚：600mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l 光源平行度：2º

l 曝光能量密度：>20mW/cm

l 汞灯功率：1000W（直流，进口）

2．外形尺寸：1400mm（长）´1200mm(宽) ´1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l 冷光椭球镜

l XYZ汞灯调节台

l 冷却风扇

l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l 掩模样片整体运动台

l 掩模样片相对运动台

l 转动台

l 样片调平机构,自动完成

l 样片自动调焦机构

l 承片台4个（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）

l 掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

l 基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及CCD对准系统

l 光源、电源

l 双目双视场对准显微镜主体

l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l CCD

l 21英寸液晶显示器

（4）电控系统

l 汞灯触发电源(1000W直流汞灯)

l 单片机控制系统

l 控制柜桌 

（5）气动系统

l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l 电磁阀驱动

l 气动仪

（6）其他附件

l 真空泵一台（无油泵）

l 空压机一台（静音泵）

l 管道

（7）技术资料

l 使用维修说明书。

l 显微镜使用说明书