URE-2000B型紫外光刻机
URE-2000B型国产紫外光刻机
URE-2000B型国产紫外光刻机
主要技术特点:
该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。
主要技术指标:
★ 曝光面积:110mm×110mm;
★ 分辨力: 0.8~1µm(胶厚2µm正胶);
★ 胶厚600µm(SU8胶,据用户工艺条件);
★ 对准精度:±0.6µm;
★ 掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch;
★ 样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm;
★ 照明均匀性:±3.5%(ф100mm);
★ 汞灯功率:1000W(直流);
★ 曝光方式:定时(倒计时方式0.1s~999.9s)。
1.技术参数
l 曝光面积:100mmX100mm
l 曝光波长:365nm
l 分辨力:0.8um(胶厚2um的正胶)
l 对准精度:±0.6um
l 掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片)
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
l 曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量
l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性: 2.5%(f100mm 范围)
l 双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍
物镜3对:4倍、10倍、20倍; 目镜3对:10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和曝光间隙
l 具备压印模块接口,也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 最大焦厚:600mm(SU8胶,用户提供检测条件)
l 光源平行度:2º
l 曝光能量密度:>20mW/cm
l 汞灯功率:1000W(直流,进口)
2.外形尺寸:1400mm(长)´1200mm(宽) ´1950mm(高)
3.配置
(1)曝光头
l 冷光椭球镜
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(109个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2
(2)对准工件台
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构,自动完成
l 样片自动调焦机构
l 承片台4个(f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸)
l 掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
l 基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜及CCD对准系统
l 光源、电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)
l 物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
l CCD
l 21英寸液晶显示器
(4)电控系统
l 汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
l 单片机控制系统
l 控制柜桌
(5)气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪
(6)其他附件
l 真空泵一台(无油泵)
l 空压机一台(静音泵)
l 管道
(7)技术资料
l 使用维修说明书。
l 显微镜使用说明书