光刻机

URE-2000/35型紫外光刻机

URE-2000/35型国产紫外光刻机

技术特征: 
  创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。 
 
主要技术指标: 
★ 曝光面积:100mm×100mm; 
★ 分辨力:   1µm(胶厚2 µm正胶); 
★ 对准精度:±0.8µm ;  
★ 照明均匀性:±4%(ф100mm 范围);     
★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、 
      厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 
★掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°; 
★汞灯功率:350W(直流); ★曝光方式:定时(倒计时方式)。

1.技术参数


l  曝光面积:4英寸

l  曝光波长:365nm

l  分辨力:0.8um

l  对准精度:±0. 8um

l  掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

l  掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  样片尺寸:直径f10mm-- f100mm(各种不规则片)

厚度0.1mm--5mm(可扩展为15mm)

l  曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

l  具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

l  照明不均匀性: 3%f100mm 范围)

l  双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

物镜三对:4倍、10倍、20

目镜三对:10倍、16倍、20

l  调平接触压力通过传感器保证重复

l  数字设定对准间隙和曝光间隙

l  具备压印模块接口,也具备接近模块接口

l  掩模相对于样片运动行程:

 X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

l  最大焦厚:400mmSU8胶,用户提供检测条件)

l  光源平行性:3.5 º

l  曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º

l  单层曝光一键完成

l  采用球气浮自动找平

l  汞灯功率:350W(直流,进口汞灯)

3.外形尺寸:1200mm(长)´900mm(´1750mm(高)

4.配置

1)曝光头

l  冷光椭球镜

l  350W进口直流高压汞灯(进口)

l  XYZ汞灯调节台

l  冷却风扇

l  光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2

2)对准工件台

l  掩模样片整体运动台

l  掩模样片相对运动台

l  转动台

l  样片调平机构,自动完成

l  基片抽拉式上下机构

l  样片调焦机构,电机自动调

l  承片台4个:f15mm 2英寸、3英寸、4英寸(可按用户要求增减)

l  掩模夹4个:3英寸、4英寸、5英寸(可按用户要求增减)

3)对准显微镜

l  光源(配备品2只)、 电源

l  双目双视场对准显微镜主体

l  目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

l  物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

l  CCD对准系统,21寸液晶显示器

4)电控系统

l  汞灯触发电源(350W直流汞灯)

l  单片机控制系统

l  控制柜桌

5)气动系统

l  气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l  电磁阀驱动

l  气动仪表

6)其他附件

l  真空泵一台

l  空压机一台

l  管道

7)技术资料

l  使用维修说明书

l  显微镜使用说明书