光刻机

URE-2000/25型紫外光刻机

URE-2000/25型国产紫外光刻机

技术特点: 
    球气浮实现高精度调平;超精密手轮对准调节,单片机控制,触摸开关操作;整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。 
 
主要技术指标: 
★ 曝光面积:100mm×100mm; 
★ 分辨力:  1.5µm(胶厚2µm的正胶); 
★ 对准精度:±0.8µm;   
★ 照明均匀性:±4%(ф100mm 范围); 
★ 掩模相对于样片运动行程:X:±5mm; Y:±5mm; θ:±6°; 
★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、厚度0.1mm--6mm; 
★ 汞灯功率:200W(直流); ★ 曝光方式:定时(倒计时方式)。

1.技术参数


曝光面积:4英寸

曝光波长:365nm

分辨力:1.2um(胶厚um的正胶)

对准精度:±0.8um

掩模样片整体运动范围:X15mm;Y:15mm

掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片) 厚度0.1mm--6mm

曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

照明不均匀性: 3% f100mm  范围)

双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍

物镜三对:4倍、10倍、20倍

目镜三对:4倍、10倍、20倍

掩模相对于样片运动行程:

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

最大焦厚:350mmSU8胶,用户提供检测条件)     

光源平行性:3.5 º

曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º

汞灯功率:350W(直流,进口

2.外形尺寸1200mm(长)´900mm(宽) ´1750mm(高)

3.配置


1)曝光头


冷光椭球镜

350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

XYZ汞灯调节台

冷却风扇

光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2


2)对准工件台


掩模样片整体运动台

掩模样片相对运动台

转动台

样片调平机构, 手动

样片调焦机构,手动

承片台3个(Ø50mm Ø75mm  Ø100mm

掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

基片抽拉式上下机构


3)对准显微镜


光源(配备品2只)、   电源

双目双视场对准显微镜主体

目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

CCD及21英寸液晶显示器

物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

4)电控系统


汞灯触发电源(350W直流汞灯)

单片机控制系统

控制箱


5)气动系统


气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

电磁阀驱动

气动仪表 


6)其他附件


真空泵一台

空压机一台

管道


7)技术资料


使用维修说明书

显微镜使用说明书