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迈库弗洛微流控技术(常州)有限公司

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    紫外负性光刻胶

    • 型号
    • 品牌Futurrex、Micro Resist、GES
    • 类型
    • 匀胶厚度

    紫外负性光刻胶包括:Futurrex、Micro Resist、GES品牌

    1. 详细信息

    紫外负性光刻胶 - 湿法工艺

     

    品牌

    产地

    型号

    曝光

    应用

    特性

    对生产量的影响

    Futurrex

    美国 

    NP9–250P

    i线曝光用粘度增强负胶系列

     

     

    在设计制造中替代基于聚异戊二烯双叠氮(Polyioprene-Bisazide)的负胶。

     

     

     

    在湿刻和电镀应用时超强的粘附力;很容易用去胶液去除。     单次旋涂厚度范围如下:﹤0.1200 μm可在ig以及h-line波长曝光

    避免了基于有机溶剂的显影和冲洗过优于传统正胶的优势:控制表面形貌的优异线宽 任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁
    单次旋涂即可获得200 μm胶厚
    厚胶同样可得到优越的分辨率
    150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间
    优异的感光度进而增加曝光通量
    更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 8分钟光刻胶曝光时不会出现气泡
    可将一种显影液同时应用于负胶和正胶
    不必使用增粘剂如HMDS

    NP9–1000P

    NP9–1500P

    NP9–3000P

    NP9–6000P

    NP9–8000

    NP9–8000P

    NP9–20000P

    NP9G–250P

    gh线曝光用粘度增强负胶系列

    NP9G–1000P

    NP9G–1500P

    NP9G–3000P

    NP9G–6000P

    NP9G–8000

    Micro Resist

    德国

    ma-N 400

    宽带或i线曝光

    0.5 20 μm胶厚


    非常适合作为刻蚀掩模,极好的抗干刻、湿刻性能;优异地利用PVDlift-off加工进行图案转移能力;优异的电镀性能(酸和碱性镀液中极高的稳定性);光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;

    品牌

    产地

    型号

    甩胶范围

    应用

    GES

    瑞士

    GM1010

    0.2 - 0.8 μm

    可用于甩胶和喷涂

    GM1040

    0.8 - 10 µm

    可用于甩胶、喷涂和喷墨打印

    GM1050

    3 - 8 µm

    可用于甩胶和喷墨打印 

    GM1060

    10 - 50 µm

    可用于甩胶和喷墨打印

    GM1070

    50 - 250 µm

    可用于甩胶和喷墨打印

    GM1075

    250 - 350 µm

    可用于甩胶和喷墨打印

     

    紫外负性光刻胶 - 干刻工艺

     

    品牌

    产地

    型号

    曝光 

    应用

    特性

    优于正胶的优势

    Futurrex

    美国 

    NR71-250P

    i线曝光的高级
    加工负胶系列

     替代用
    于RIE
     加工及
     离子植
      入的正胶

         在RIE加工时优异
         的选择性以及在离
         子注入时优异的高
         温耐受能力

         厚度范围:﹤0.1~
         200μm
         可在i、g以及h-line
         波长曝光

    控制表面形貌的优异线宽
    任意甩胶厚度都可得到笔直的侧壁
    单次旋涂即可获得200 μm胶厚
    厚胶同样可得到优越的分辨率
    150 ℃软烘烤的应用可缩短烘烤时间
    优异的感光度进而增加曝光通量
    更快的显影,100 μm的光刻胶显影仅需6 ~ 8分钟
    光刻胶曝光时不会出现气泡
    可将一种显影液同时应用于负胶和正胶
    优异的温度阻抗直至180 ℃
    在反应离子束刻蚀或离子减薄时非常容易地增加能量密度,从而提高刻蚀速度和刻蚀通量
    非常容易进行高能量离子注入
    不必使用增粘剂如HMDS

    NR71-350P

    NR71-1000P

    NR71-1500P

    NR71-3000P

    NR71-6000P

    NR5-8000

    NR71G-250P

    g和h线曝光的高
    级加工负胶系列

    NR71G-350P

    NR71G-1000P

    NR71G-1500P

    NR71G-3000P

    NR71G-6000P

    NR5G-8000

    Micro Resist

    德国

    ma-N1400

    宽带或
    i线曝光

    0.5~ 20μm胶厚

        

    非常适合作为刻蚀掩模,极好的抗干刻、湿刻性能;优异地利用PVD和lift-off加工进行图案转移能力;优异的电镀性能(酸和碱性镀液中极高的稳定性);光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;

     

    紫外负性光刻胶 - lift-off工艺

     

    品牌

    产地

    型号

    厚度


    曝光

    应用

    加工

    特性

    Futurrex

    美国 

    NR71-1000PY

    0.7μm~2.1μm

    高温耐受

    用于i线曝光的负胶

        LEDOLED

        显示器、

        MEMS

        封装、

        生物芯片等

        金属和介电
        质上图案化,
        不必使用RIE
        加工器件的永
        久性组成
       OLED显示
        器上的间隔
        区)凸点、
        互连、空中
        连接微通道

        显影时形成光刻胶倒
        梯形结构

        厚度范围:
        0.520.0 μm

        igh线曝光波长
        曝光

        对生产效率的影响:

        金属和介电质图案化
        时省去干法刻蚀加工

        不需要双层胶技术

    NR71-1500PY

     1.3μm~3.1μm

    NR71-3000PY

    2.8μm6.3μm

    NR71-6000PY

    5.7μm~12.2μm

    NR9-100PY

    0.7μm~2.1μm

    粘度增强

    NR9-1500PY

    1.3μm~3.1μm

    NR9-3000PY

    2.8μm~6.3μm

    NR9-6000PY

    5.7μm~12.2μm

    NR71G-1000PY

    0.7μm~2.1μm

    高温耐受

     负胶对  gh线波长的灵敏度

    NR71G-1500PY

    1.3μm~3.1μm

    NR71G-3000PY

    2.8μm~6.3μm

    NR71G-6000PY

    5.7μm~12.2μm

    NR9G-100PY

    0.7μm2.1μm

    粘度增强

    NR9G-1500PY

    1.3μm3.1μm

    NR9G-3000PY

    2.8μm6.3μm

    NR9G-6000PY

    5.7μm~12.2μm

    Micro Resist

    德国

    ma-N 400

    宽带或
    i线曝光

    0.520μm胶厚

     

    非常适合作为刻蚀掩模,极好的抗干刻、湿刻性能;优异地利用PVDlift-off加工进行图案转移能力;优异的电镀性能(酸和碱性镀液中极高的稳定性);光刻胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;

    ma-N 1400

    品牌

    产地

    型号

    甩胶范围

    应用

    GES

    瑞士

    GM1010

    0.2 - 0.8 μm

    可用于甩胶和喷涂

    GM1040

    0.8 - 10 µm

    可用于甩胶、喷涂和喷墨打印

    GM1050

    3 - 8 µm

    可用于甩胶和喷墨打印 

    GM1060

    10 - 50 µm

    可用于甩胶和喷墨打印

    GM1070

    50 - 250 µm

    可用于甩胶和喷墨打印

    GM1075

    250 - 350 µm

    可用于甩胶和喷墨打印