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    AZ MIR-700 系列光刻胶

    • 型号AZ MIR-701/AZ MIR-703
    • 品牌AZ
    • 类型中高解像度I线正型光刻胶
    • 匀胶厚度0.6~2.5um

    AZ MIR-700系列光刻胶高感光度I线正型光刻胶,符合ULSI和VLSI制造过程中高感光度高分辨率的要求。

    1. 详细信息

    AZ MIR-700系列光刻胶高感光度I线正型光刻胶,符合ULSI和VLSI制造过程中高感光度高分辨率的要求

    AZ MIR-700系列光刻胶特征:

    1) 高感光度带来了高产出率

    2) 线条与通孔均可应用

    3) 推荐与AZ的ARC和RELACS共同使用

    参考工艺条件

    前烘 90℃ 60秒 (DHP)

    曝光 I线步进式曝光机

    曝光后烘烤 110℃ 60秒 (DHP)

    显影 AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

    清洗 :去离子水30秒

    剥离 AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

    产品型号

    型号

    AZ MIR-701

    AZ MIR-703

    粘性

    14mPa

    14mPa