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    AZ 9260 光刻胶

    • 型号AZ 9260
    • 品牌AZ
    • 类型正胶、厚胶
    • 匀胶厚度5~20微米

    AZ 9260 正性光刻胶具有高分辨率对于较低的抗蚀剂的膜厚度

    1. 详细信息

    AZ 9260 光刻胶具有高分辨率

    对于较低的抗蚀剂的膜厚度,我们建议用PGMEA =“稀释AZ ® EBR溶剂”。以下抗蚀剂膜厚度指的是4000 rpm的理解条件:

    4.0μm:百克AZ ® 9260 +13克PGMEA

    3.0μm:100克AZ ® 9260 +23克PGMEA

    2.0μm:百克AZ ® 9260 +42克PGMEA

    1.5μm:100克AZ ® 9260 +55克PGMEA

    1.0μm:100克AZ ® 9260 +88克PGMEA