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    AZ 6124 光刻胶

    • 型号AZ 6100系列正性光刻胶
    • 品牌AZ
    • 类型正胶
    • 匀胶厚度2.5 - 5μm

    AZ6100系列广泛应用于大规模集成电路的高感光度高热稳定性G线正型光刻胶。

    1. 详细信息

    AZ6100系列广泛应用于大规模集成电路的高感光度高热稳定性G线正型光刻胶。

    特征:

    1) 通过提高光刻胶的热稳定性,从而改善了干法刻蚀的工艺窗口

    2) 高感光度带来了高产出率

    3) 很宽的膜厚范围

    参考工艺条件:

    前烘 100℃ 60秒 (DHP)

    曝光 G线步进式曝光机/接触式曝光机

    显影 AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

    清洗 :去离子水30秒

    后烘 120℃ 120秒 (DHP)

    剥离 AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

    产品型号:

    型号

    AZ6112

    AZ6124

    AZ6130

    粘性

    13mPa

    43mPa

    69mPa

     

     

    匀胶曲线:

    AZ6100系列光刻胶