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    PMMA电子束光刻胶 495PMMA 950PMMA

    • 型号MicroChem PMMA电子束光刻胶 495PMMA 950PMMA
    • 品牌MicroChem
    • 类型PMMA电子束光刻胶,正性光刻胶
    • 匀胶厚度

    PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一种通用的聚合材料,适用于许多成像和非成像微电子系统。PMMA光刻胶是将PMMA聚合物溶解在诸如苯甲醚之类的安全溶剂中,曝光会导致聚合物链断裂。PMMA最常用作直写式电子束的高分辨率正性光刻胶,它具有极高的分辨率,易于处理和出色的薄膜特性。PMMA还可用作晶圆薄化的保护涂层,粘结粘合剂和刻蚀层

    1. 详细信息

    PMMA电子束正性光刻胶

    PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一种通用的聚合材料,适用于许多成像和非成像微电子系统。PMMA光刻胶是将PMMA聚合物溶解在诸如苯甲醚之类的安全溶剂中,曝光会导致聚合物链断裂。PMMA最常用作直写式电子束的高分辨率正性光刻胶,它具有极高的分辨率,易于处理和出色的薄膜特性。PMMA还可用作晶圆薄化的保护涂层,粘结粘合剂和刻蚀层。

    MicroChem PMMA电子束正性光刻胶用途:

    晶圆减薄

    防护涂料

    PHEMT

    多层T门工艺

    其他直写式电子束工艺

    PMMA电子束正性光刻胶属性:

    正调

    电子束和X射线可成像

    膜厚范围广

    对大多数基材具有出色的附着力

    共聚物光刻胶是基于PMMA和〜8.5%甲基丙烯酸的混合物。共聚物MMA(8.5)通常与PMMA结合使用在双层剥离抗蚀剂工艺中,该工艺需要独立控制CD尺寸和每个光刻胶层的形状。标准共聚物光刻胶是在乳酸乙酯中配制的,并且可以在很宽的膜厚范围内使用。

    T型门的示意图,说明了各种产品层

    MicroChem PMMA电子束光刻胶 495PMMA 950PMMA