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中国光电国产光刻机疑问解决篇一

1.不同功率和光强的汞灯曝光效果有什么不同?

从光源类型来讲分汞灯光源和LED光源,汞灯类型光源紫外光在365波段附近有一定的带宽,而LED光源比较纯,基本就只有365波段;理论上不同功率或光强的汞灯或光源对于曝光效果没有影响,只要根据光刻胶型号参数选择对应的曝光剂量就可以了(掩模面光强Mw/cm2*曝光时间s=曝光剂量mj);

2.对准精度和分辨率与什么有关?

分辨力是指曝光线条的最细线宽,对准精度是指套刻精度,即多次曝光后不同图形线条的位置精度;

3.紫外光源寿命多少?怎样判断寿命降低,寿命降低对曝光效果会有什么影响?如果使用一段时间后强度达不到要求如何处理?

我们汞灯一般配置的是进口汞灯,标称寿命为连续工作800小时左右,LED光源寿命为连续工作20000小时左右,随着灯的使用,能量会逐渐降低,直到最后几乎没有紫外光强;一般来讲如果没有特殊要求,能量降低后对应的加长曝光时间就可以了,对曝光效果没有影响;

4.我们用的是1um厚的正胶,实际最低线宽可以做到多少?

1um厚的正胶理论上可以做1.5-2um的线条,这主要取决于光刻胶类型、光刻机性能以及配套的工艺流程(最后一条尤为重要);

5.真空接触曝光模式如何实现,是调节压力还是真空度,是否有数值显示?真空压力和真空度是多少?

真空接触曝光是通过真空胶皮在掩模与样片之间形成一个密封腔体,然后抽真空,使得样片与掩模贴得更紧来实现真空曝光的;暂时没有数值显示真空度,只有一个统一显示系统真空度的真空表;

6.除了真空接触之外的几种曝光模式分别如何实现,适用于什么样的器件?

其他几种曝光模式主要是通过机械调节样片与掩模的接触程度来实现的,可以间隙曝光也可以过接触曝光;

7.底盘设计是什么样的,能否固定1cm*1cm的基片,如何固定?

底盘设计标配为碎片、2寸、3寸、4寸四种,靠真空吸附固定。样片厚度默认≤2mm,非标尺寸需定制;

8.重量各是多少?

重量略有差异,单差异不太大,整机100Kg左右;