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SU-8光刻胶常见问题一

SU-8光刻胶有2000系类和3000系列两类产品,3000系列升级后对光刻胶的粘附力,产品精度等性能进一步完善。

SU8光刻胶是一种环氧型光刻胶,交联后很难去除。在SU8去胶液中只能发生“溶胀”而不能溶解。

SU8光刻胶常用的物理去胶方法有高压水喷、低温冷冻、高温解冻、准分子激光消融等。

SU-8胶原本的用途就是不去除的,去胶液不能把胶去除干净