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    URE-2000S/25型单、双面紫外光刻机

    • 型号URE-2000S/25型单、双面紫外光刻机
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000S/25型单、双面紫外光刻机

    1. 详细信息

    技术特点: 
         该机采用国内首创的CCD图像底面对准技术,单曝光头正面曝光实现双面对准的总体设计技术。采用新颖的高精度、多自由度掩模—样片精密对准工件台结构设计,掩模—样片对准过程直观,套刻对准速度快、精度高。掩模板与样片的放置采用推拉式基准平板、真空吸附式,操作方便。 
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:150mm×150mm; 
    ★ 分辨力:1.5µm(胶厚2 µm的正胶); 
    ★ 对准精度:±2.5µm(双面),±1µm(单面); 
    ★ 掩模尺寸:3 inch、4 inch、5 inch、7 inch; 
    ★ 样片尺寸:直径ф30mm-- ф150mm、 
          厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 
    ★ 照明均匀性: ±4%(ф100mm范围);±7%(ф150mm范围) 
    ★ 掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ:±6°; 
    ★ 汞灯功率:350W(直流); 
    ★ 曝光方式:定时(倒计时方式)