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    URE-2000D型大面积紫外光刻机

    • 型号URE-2000D
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000D型大面积紫外光刻机

    1. 详细信息

    用途:在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。 
    技术特点: 
    ◆ 采用3500W直流高压汞灯;◆ 采用蝇眼透镜实现高均匀照明; 
    ◆ 实现超大面积光刻;   ◆采用CCD自动对准,自动化程度高; 
    ◆ 性能可靠、操作方便。 
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:430 mm×430 mm; 
    ★ 分辨力:3µm; 
    ★ 对准精度:≤±1µm ;      
    ★ 掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸; 
    ★ 照明均匀性:±10%(430 mm×430 mm范围); 
    ★ 掩模相对于样片运动行程:X: ±6mm;  Y: ±6mm; θ: ±6度;