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    URE-2000B型紫外光刻机

    • 型号URE-2000B
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000B型国产紫外光刻机

    1. 详细信息

    主要技术特点: 
       该机采用i线紫外曝光光源,光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术,采用积木错位绳眼透镜实现高均匀照明,并配备了双目双视显微镜和CCD图象对准系统(可同时使用),曝光能量高,聚光角度小,突具厚胶曝光功能,曝光设定采用微机控制,菜单界面友好,操作简便。 
      
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:110mm×110mm; 
    ★ 分辨力:   0.8~1µm(胶厚2µm正胶); 
    ★ 胶厚600µm(SU8胶,据用户工艺条件); 
    ★ 对准精度:±0.6µm; 
    ★ 掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch; 
    ★ 样片尺寸:直径ф15mm-ф100mm、厚度0.1mm-6mm; 
    ★ 照明均匀性:±3.5%(ф100mm);   
    ★ 汞灯功率:1000W(直流); 
    ★ 曝光方式:定时(倒计时方式0.1s~999.9s)。