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    URE-2000/35型紫外光刻机

    • 型号URE-2000/35
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000/35型国产紫外光刻机

    1. 详细信息

    技术特征: 
      创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。 
     
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:100mm×100mm; 
    ★ 分辨力:   1µm(胶厚2 µm正胶); 
    ★ 对准精度:±0.8µm ;  
    ★ 照明均匀性:±4%(ф100mm 范围);     
    ★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
    ★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、 
          厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 
    ★掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°; 
    ★汞灯功率:350W(直流); ★曝光方式:定时(倒计时方式)。