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    URE-2000/25型紫外光刻机

    • 型号URE-2000/25
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000/25型国产紫外光刻机

    1. 详细信息

    技术特点: 
        球气浮实现高精度调平;超精密手轮对准调节,单片机控制,触摸开关操作;整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。 
     
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:100mm×100mm; 
    ★ 分辨力:  1.5µm(胶厚2µm的正胶); 
    ★ 对准精度:±0.8µm;   
    ★ 照明均匀性:±4%(ф100mm 范围); 
    ★ 掩模相对于样片运动行程:X:±5mm; Y:±5mm; θ:±6°; 
    ★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
    ★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、厚度0.1mm--6mm; 
    ★ 汞灯功率:200W(直流); ★ 曝光方式:定时(倒计时方式)。