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    URE-2000/17型紫外光刻机

    • 型号URE-2000/17
    • 品牌国产光刻机

    URE-2000/17型紫外国产光刻机

    1. 详细信息

    技术特点: 
    采用双目双视场显微镜对准;球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。 
     
    主要技术指标: 
    ★ 曝光面积:ф100mm; 
    ★ 分辨力:  1.7µm(胶厚2 µm的正胶); 
    ★ 对准精度:  ±1µm;   
    ★ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm; 
    ★ 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch; 
    ★ 样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、 
          厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm); 
    ★ 照明均匀性:±6%(ф100mm 范围); 
    ★ 掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ: ±6°; 
    ★ 汞灯功率:200W(直流);★曝光方式:定时(倒计时方式)。