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    KW-4A型 匀胶机

    • 型号KW-4A
    • 品牌

    KW-4A型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。 

    1. 详细信息

    KW型匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺。 匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证胶厚度的一致性和均匀性。

    (一) KW-4A型采用永磁电机,转子用开关电源调速,转速在1000 -8000转/分范围内非常稳定。KW-5型采用变频调速,转速在5000转/分以 内稳定工作。

    (二) 匀胶机有两个转速,Ⅰ速和Ⅱ速(两转速及相应的时间分 别可调)。在甩2英寸以上样片时,启动后先以低速运转,使胶摊开,然 后自动变到高速运转。在甩小样片时,可将Ⅰ速时间电位器调到最小,启 动后直接用Ⅱ速。

    (三) 本匀胶机测速采用光电的方法,在光电测速盘的边上有三 个缺口,光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时, 光电开关的接收器没有信号,当光电盘的反射板(缺口以外的其余部分) 转到光电开关上面时,光电接收器便接收到信号产生一个脉冲,光电盘旋 转一周,光电接受器便接收到三次信号,因而产生三个脉冲。闸门由秒脉 冲电路产生,周期为2秒。当电机旋转时,如果计时器在2秒内计得的数是 n,则每秒钟应该转了n/(2×3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)×60=10n 转。故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级。匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变 两个匀胶时间。在安装结构上,采取了减震措施,在运转时噪音很低。

    KW-4A型匀胶机性能指标

             >KW-4A型 匀胶机 参数:手动旋钮控制

            > 基片尺寸φ5-100mm圆片、最大100x100mm2方片

            > 转速:500-8000转/分

            > 显示转速稳定度:±1%,胶的均匀性±1%

            > 匀胶阶段:2段

            > 匀胶时间:Ⅰ速0~18S,最大(0~60S);Ⅱ速0~60S,最大(0~180S)

            > 电机功率:40W

            > 整机尺寸(长宽高):210mm×260mm×275mm

            > 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

            >旋涂时间:单步工艺 0-60s,满足绝大多数客户需求。特殊可定制

            >抽气速率:>60L/min

            >标配 3 个基片托盘:直径 8mm,1 英寸,2 英寸

    KW-4A 匀胶机产品主要特点 

    1) 开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。

    2) 转速在 500~8000 转/分范围内非常稳定。

    3) 采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到 高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在 1~18 秒 和 3 秒~1 分钟。

    4) 具有定时功能。

    5) 测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。

    6) "吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合 流水线的工艺,提高了效率。

    7) 在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。

    KW-4A型匀胶机使用说明

    1) 将塑料管接到匀胶机后面板的抽气嘴上。

    2) 电源线插座插入无油泵底座“~220V”插孔里。

    3) 电源线插头插入电源线接板的~220V。

    4) 此泵有两个气嘴,一个气嘴已接好塑料管,另一端接到匀胶机后面板即

    可,另一只气嘴为出气嘴,不要堵住。

    5) 电源开关“O”为关闭,“-”为开启。

    6) 将开关置于“-”位置,真空泵即可运转。

    7) 和匀胶机连用时,当需要吸片时,先开泵电源,真空泵应处于工作状态,

    只需要再按匀胶机面板上的吸气键,即可控制通电。

    8) 不工作时将泵上的开关断开。