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    美国Cee 多功能匀胶机

    • 型号多功能匀胶机
    • 品牌Cee

    美国Cee®多功能匀胶机

    1. 详细信息

    Cee多功能匀胶机主要型号

      Cee®200X       适用8"方片以下尺寸匀胶工艺

      Cee®200XCB  适用8"方片以下尺寸匀胶、热板工艺

      CeeFX             适用8"方片-16"x16" 英寸尺寸匀胶工艺

      Cee®XD         适用全尺寸喷涂显影工艺

    匀胶机主要构造

      采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

      机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。

      排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

      透明可视,耐化学腐蚀的密封盖(丙烯酸材质),可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢

         出有效隔绝有毒气味的散发。

    匀胶机主要性能指标

     主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

     旋涂程序:700种程序(200FX),每个程序15步,每个步骤可精确到0.1秒

     转动速度:0-12,000rpm(16,000rpm可选)

     旋涂加速度:0-30000rpm/sec

     转速调节精度0.2rpm,重复性< 0.2rpm

     支持2",3",4",6"及碎片(Cee200X、Cee200XCB系列)

     支持大尺寸LCD及8" x 8"方片-16" x16"方片(200FX系列)

     旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸的范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

     热板工作模式:接近、接触、真空式

    选件:

      可加装背后清洗(BSR)、去边装置(EBR),用于多功能显影。

      程控自动点胶装置(Auto Dispense 30-50ml,360ml,压力罐点胶1GL可选),产

         品可加装喷嘴(5个),用于多功能匀胶。可编程的回吸系统(Programmable

           Suckback System) 可以防止多余的胶从管嘴溢出。

      程控自动喷涂显影装置((Spray Develop、吹氮、去离子水)

      精确温度曲线控制

      惰性气体环境加热固化

      热板气动顶针等