硅片

FZ硅片

FZ硅片直径2~8英寸,阻值:几十Ωcm-20kΩcm及以上

1、掺杂类型:N,P  

2、直径2~8英寸

3、 阻值:几十Ωcm-20kΩcm及以上

4、FZ硅片是指通过区熔法制作的硅片,将硅棒从籽晶一端区域熔化,将熔化区逐渐

      移动至硅棒另一端,利用杂质的分凝原理和蒸发特性,可以对硅棒进行提纯,并

      得到很均匀的杂质分布,这种技术通常用于制造高纯度的本征硅片。

5、是否做高温工艺,以及退火后的工艺性能是考察FZ硅片的一个重要指标。

6、根据工艺应用适用不同型号FZ硅片,咨询时需要告知工艺应用以及是否做高温工艺。